レーザー誕生後間もなく、科学者たちはレーザーを試料に照射するとプラズマが形成される現象を観測した。1962年、ブレッヒはレーザー分光国際会議でプラズマを分光法の光源として利用できることを初めて報告した。その1年後、リオデはLIBSを材料表面分析ツールとして初めて使用し、LIBSが分析分野に進出したことを示す出来事となった。1964年、グリームはプラズマ分光法に関する初のモノグラフを出版した。この本はプラズマ定量分光法の理論、導出、結果、および関連する実験技術に関する非常に包括的な入門書である。10年間の研究の後、グリームはプラズマによるスペクトル線広がりに関する本を出版し、付録に多くの原子およびイオンのスペクトル線の広がりと周波数シフトの計算値を示した。これには水素とヘリウムの詳細なパラメータ表、およ​​び特定の電子温度と電子密度における他の原子とイオンに関する情報も含まれている。この本の出版は画期的な出来事である。

1980年代初頭、アメリカの科学者たちは、一部の材料の元素分析にLIBS技術を使い始めました。それ以来、LIBSはほぼあらゆる種類の材料組成をリアルタイムで測定できる分析ツールへと進化しました。レーザー誘起ブレークダウン分光法（LIBS）は、発光分光法の分析手法の一つであり、高エネルギーのパルスレーザーを物質と相互作用させてプラズマを生成し、放射スペクトル中の原子、イオン、または分子群の特性スペクトル線を検出することで、測定対象物質の定性的および定量的情報を取得します。

Reallight社のサブナノ秒マイクロチップレーザー

従来のLIBSシステムでは、パルス幅10nsのランプ励起固体レーザーを用いて試料を励起していた。パルス幅が長いため制動放射効果が顕著に現れ、高精度な時間遅延制御装置が必要となる。レーザーと分光計のトリガーとデータ取得を正確に調整することで、プラズマ元素の高品質なスペクトル線を得ることができる。

RealLight社は、パルス幅が約30分の1に短縮された350psのパッシブQスイッチサブナノ秒パルスレーザーを提供しています。これにより、熱効果と制動放射効果を効果的に低減できます。高SNRの素子のスペクトル信号が得られます。レーザーは100～1000Hzの高い繰り返し周波数を持ち、0.1～1秒の積算露光時間を持つ分光器を使用することで、信号強度と信号対雑音比を向上させることができます。

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