2026-08-07
本稿では、フォトレジストのエッジ修復におけるマイクロチップレーザーの活用について、化学的および光学的EBR法を比較検討する。特に、355nmのUVレーザーを用いた高精度なエッジビード除去による歩留まり向上に焦点を当て、半導体リソグラフィ向けの国産レーザーソリューションを紹介する。





















































































