Questo articolo esplora i laser a microchip nella riparazione dei bordi del fotoresist, confrontando i metodi EBR chimici e ottici. Si concentra sui laser UV a 355 nm per la rimozione precisa del cordone di saldatura sui bordi, migliorando la resa produttiva, e presenta una soluzione laser di produzione nazionale per la litografia dei semiconduttori.

La spettroscopia di emissione atomica indotta da laser (LIBS) è una tecnologia di analisi elementare rapida e non distruttiva ampiamente utilizzata nell'industria, nell'ambiente e nella ricerca scientifica. Le prestazioni del laser determinano la precisione di rilevamento della LIBS. Rispetto ai laser tradizionali, il laser RealLight PQE DPSSL si distingue per le dimensioni compatte, l'elevata energia e la breve durata dell'impulso, che consentono l'acquisizione spettrale con un elevato rapporto segnale/rumore (SNR) e si prestano allo sviluppo di LIBS portatili e commerciali.

I laser a vetro di erbio da 1535 nm offrono sicurezza oculare di Classe 1, portata ToF di oltre 30 km, funzionamento a temperature comprese tra -40 e 70 °C senza necessità di controllo della temperatura e potenza di picco di 150 kW. RealLight offre una produzione nazionale completa, una capacità annua di oltre 100.000 unità e moduli personalizzabili per applicazioni in droni, sicurezza e lidar.

I laser a microchip consentono la spettroscopia LIBS portatile e intelligente con elevate frequenze di ripetizione, basso consumo energetico e design robusto. Le soluzioni di RealLight superano i limiti del laboratorio tradizionale, aprendo la strada alla selezione delle leghe, al monitoraggio ambientale e all'analisi dei beni culturali.

I sistemi LIBS portatili consentono un'analisi rapida in loco di elementi leggeri (C, Li, ecc.) senza radiazioni. Sono particolarmente efficaci nel monitoraggio dell'impatto ambientale, nel riciclo e nelle batterie al litio, ma presentano problematiche in termini di rapporto costo/precisione. RealLight offre laser compatti a pompaggio terminale da >5 mJ e 50 Hz con Q-switching passivo per applicazioni LIBS portatili.

La spettroscopia LIBS consente analisi multielementari rapide in situ, rivoluzionando l'esplorazione geologica e la selezione dei minerali. Le unità portatili forniscono risultati in tempo reale, mentre i sistemi da laboratorio offrono immagini elementari con risoluzione di 1-2 μm. Il laser PQE da 10 mJ di RealLight offre una sorgente LIBS compatta ed economica.