В данной статье рассматриваются микрочиповые лазеры в методах восстановления краев фоторезиста, сравниваются химические и оптические методы электронно-лучевой реставрации. Особое внимание уделяется УФ-лазерам с длиной волны 355 нм для точного удаления краевых валиков, что повышает выход годной продукции, а также представлено решение для полупроводниковой литографии с использованием отечественного лазера.

LIBS — это быстрая, неразрушающая технология элементного анализа, широко используемая в промышленности, охране окружающей среды и научных исследованиях. Точность обнаружения в LIBS определяется характеристиками лазера. По сравнению с традиционными лазерами, RealLight PQE DPSSL отличается компактными размерами, высокой энергией и коротким импульсом, что позволяет получать спектры с высоким отношением сигнал/шум и адаптироваться к разработке портативных и коммерческих LIBS-систем.

Эрбиевые стеклянные лазеры с длиной волны 1535 нм обеспечивают безопасность для глаз класса 1, дальность действия более 30 км, работу при температуре от –40 до 70°C без контроля температуры и пиковую мощность 150 кВт. Компания RealLight обеспечивает полное внутреннее производство, годовой объем более 100 000 единиц продукции и возможность настройки модулей для дронов, систем безопасности и лидарных приложений.

Микрочиповые лазеры позволяют создавать портативные интеллектуальные LIBS-системы с высокой частотой повторения импульсов, низким энергопотреблением и прочной конструкцией. Решения RealLight преодолевают ограничения, присущие лабораторным системам, расширяя возможности сортировки сплавов, мониторинга окружающей среды и анализа объектов культурного наследия.

Портативный LIBS-анализ позволяет быстро проводить анализ легких элементов (C, Li и др.) на месте без использования излучения. Он отлично подходит для анализа молекулярной массы, переработки отходов и литиевых батарей, но сталкивается с проблемами соотношения стоимости и точности. Компания RealLight предлагает компактные лазеры с торцевой накачкой >5 мДж и частотой 50 Гц, оснащенные пассивным модулятором добротности, для портативных LIBS-приложений.

Технология LIBS обеспечивает быстрый многоэлементный анализ непосредственно на месте, революционизируя геологическую разведку и сортировку минералов. Портативные устройства обеспечивают результаты в режиме реального времени, а лабораторные системы — элементную визуализацию с разрешением 1–2 мкм. Лазер RealLight с КПД 10 мДж предлагает компактный и экономичный источник LIBS.